Молекулярдык нур эпитаксиясынын (MBE) кыскача баяндамасы
Молекулярдык нур эпитаксиясы (MBE) технологиясы 1950-жылдары вакуумдук буулантуу технологиясын колдонуу менен жарым өткөргүч жука пленкалуу материалдарды даярдоо үчүн иштелип чыккан. Өтө жогорку вакуумдук технологиянын өнүгүшү менен бул технологияны колдонуу жарым өткөргүч илим тармагына да кеңейтилген.
Жарым өткөргүч материалдарды изилдөөнүн мотивациясы - системанын иштешин жакшырта турган жаңы түзмөктөргө болгон суроо-талап. Өз кезегинде, жаңы материалдык технология жаңы жабдууларды жана жаңы технологияларды жаратышы мүмкүн. Молекулярдык нур эпитаксиясы (МНЭ) - бул эпитаксиалдык катмардын (адатта жарым өткөргүч) өсүшү үчүн жогорку вакуумдук технология. Ал бир кристаллдуу субстратка таасир этүүчү булак атомдорунун же молекулаларынын жылуулук нурун колдонот. Процесстин өтө жогорку вакуумдук мүнөздөмөлөрү жаңы өстүрүлгөн жарым өткөргүч беттерде изоляциялык материалдарды in situ металлдаштырууга жана өстүрүүгө мүмкүндүк берет, натыйжада булгануусуз интерфейстер пайда болот.
MBE технологиясы
Молекулярдык нур эпитаксиясы жогорку вакуумда же өтө жогорку вакуумда (1 x 10) жүргүзүлдү.-8Па) чөйрөсү. Молекулярдык нур эпитаксиясынын эң маанилүү аспектиси - анын төмөн чөкмө ылдамдыгы, бул адатта пленканын саатына 3000 нмден аз ылдамдыкта эпитаксиалдык өсүшүнө мүмкүндүк берет. Мындай төмөн чөкмө ылдамдыгы башка чөкмө ыкмалары сыяктуу эле тазалык деңгээлине жетүү үчүн жетиштүү жогорку вакуумду талап кылат.
Жогоруда сүрөттөлгөн өтө жогорку вакуумду камсыз кылуу үчүн, MBE түзмөгү (Knudsen клеткасы) муздатуучу катмарга ээ жана өстүрүү камерасынын өтө жогорку вакуумдук чөйрөсү суюк азоттун айлануу системасын колдонуу менен сакталышы керек. Суюк азот түзмөктүн ички температурасын 77 Кельвинге (−196 °C) чейин муздатат. Төмөнкү температурадагы чөйрө вакуумдагы кошулмалардын курамын андан ары азайтып, жука пленкалардын чөкмөсү үчүн жакшы шарттарды түзө алат. Ошондуктан, MBE жабдуулары үчүн -196 °C суюк азотту үзгүлтүксүз жана туруктуу камсыз кылуу үчүн атайын суюк азотту муздатуу айлануу системасы талап кылынат.
Суюк азот менен муздатуучу айлануу системасы
Вакуумдук суюк азотту муздатуу айлануу системасы негизинен төмөнкүлөрдү камтыйт:
● криогендик бак
● негизги жана тармактык вакуумдук капталган түтүк / вакуумдук капталган шланг
● MBE атайын фазалык сепаратору жана вакуумдук капталган түтүк
● ар кандай вакуумдук капталган клапандар
● газ-суюктук тосмосу
● вакуумдук капталган чыпка
● динамикалык вакуумдук насос системасы
● Алдын ала муздатуу жана тазалоочу кайра жылытуу системасы
HL Cryogenic Equipment Company компаниясы MBE суюк азот муздатуу системасына болгон суроо-талапты байкап, MBE технологиясы үчүн атайын MBE суюк азот муздатуу системасын жана вакуумдук изоляциянын толук комплектин ийгиликтүү иштеп чыгуу үчүн техникалык негизди уюштурду.edкөптөгөн ишканаларда, университеттерде жана изилдөө институттарында колдонулуп келген түтүк системасы.
HL криогендик жабдуулары
1992-жылы негизделген HL Cryogenic Equipment компаниясы Кытайдагы Chengdu Holy Cryogenic Equipment компаниясына караштуу бренд болуп саналат. HL Cryogenic Equipment компаниясы жогорку вакуумдук изоляцияланган криогендик түтүк системасын жана ага байланыштуу колдоочу жабдууларды долбоорлоого жана өндүрүүгө умтулат.
Көбүрөөк маалымат алуу үчүн, расмий веб-сайтка кириңизwww.hlcryo.comже электрондук почта дарегинеinfo@cdholy.com.
Жарыяланган убактысы: 2021-жылдын 6-майы
