Молекулярдык нур эпитаксисинин кыскача баяндамасы (MBE)
Molecular Beam Epitaxy (MBE) технологиясы 1950-жылдары вакуумдук буулантуу технологиясын колдонуу менен жарым өткөргүч жука пленкалуу материалдарды даярдоо үчүн иштелип чыккан. Ультра жогорку вакуумдук технологиянын өнүгүшү менен технологияны колдонуу жарым өткөргүч илим тармагына жайылды.
Жарым өткөргүч материалдарды изилдөөнүн мотивациясы системанын иштешин жакшыртышы мүмкүн болгон жаңы түзүлүштөргө болгон суроо-талап болуп саналат. Өз кезегинде жаңы материалдык технология жаңы жабдууларды жана жаңы технологияны чыгарышы мүмкүн. Молекулярдык нур эпитаксиясы (MBE) - эпитаксиалдык катмардын (көбүнчө жарым өткөргүч) өсүшү үчүн жогорку вакуумдук технология. Бул бир кристаллдык субстрат таасир булак атомдорунун же молекулалардын жылуулук нурун колдонот. Процесстин өтө жогорку вакуумдук мүнөздөмөлөрү жеринде металлдаштырууга жана изоляциялык материалдардын жаңыдан өстүрүлгөн жарым өткөргүч беттеринде өсүшүнө мүмкүндүк берет, натыйжада булгануусу жок интерфейстер пайда болот.
MBE Technology
Молекулярдык нур эпитаксиси жогорку вакуумда же өтө жогорку вакуумда (1 х 10) жүргүзүлгөн.-8Па) айлана-чөйрө. Молекулярдык нур эпитаксисинин эң маанилүү аспектиси анын төмөн катмарлануу ылдамдыгы болуп саналат, ал адатта пленканын эпитаксиалдык ылдамдыгы саатына 3000 нмден аз өсүүгө мүмкүндүк берет. Мындай төмөн түшүрүү ылдамдыгы башка түшүрүү ыкмалары сыяктуу тазалыктын деңгээлине жетүү үчүн жетиштүү жогорку вакуумду талап кылат.
Жогоруда сүрөттөлгөн ультра жогорку вакуумга жооп берүү үчүн, MBE аппараты (Knudsen клеткасы) муздаткыч катмарга ээ жана өсүү камерасынын ультра жогорку вакуум чөйрөсү суюк азоттун айлануу тутумун колдонуу менен сакталышы керек. Суюк азот аппараттын ички температурасын 77 Кельвинге (-196 °C) чейин муздатат. Төмөн температурадагы чөйрө вакуумдагы аралашмалардын мазмунун андан ары азайтып, жука пленкалардын жайгашуусу үчүн жакшы шарттарды камсыздай алат. Ошондуктан, -196 °C суюк азот менен үзгүлтүксүз жана туруктуу камсыз кылуу үчүн MBE жабдуулары үчүн атайын суюк азот муздатуу жүгүртүү системасы талап кылынат.
Суюк азотту муздатуу циркуляция системасы
Вакуумдук суюк азот муздатуу жүгүртүү системасы негизинен камтыйт,
● криогендик резервуар
● негизги жана тармактык вакуумдук курткалуу түтүк / вакуумдук курткалуу шланг
● MBE атайын фазалык сепаратор жана вакуумдук курткалуу түтүк
● ар кандай вакуумдук куртка клапандар
● газ-суюктук тосмо
● вакуумдук курткалуу чыпка
● динамикалык вакуумдук насос системасы
● Алдын ала муздатуу жана кайра жылытуу системасын тазалоо
HL Cryogenic Equipment компаниясы MBE суюк азот муздатуу тутумуна суроо-талапты байкады, MBE технологиясы үчүн атайын MBE суюк азотту муздатуу системасын ийгиликтүү иштеп чыгуу үчүн уюштурулган техникалык магистралдык жана вакуумдук изоляциянын толук комплектиedкөптөгөн ишканаларда, жогорку окуу жайларында жана илим-изилдөө институттарында колдонулган түтүк системасы.
HL криогендик жабдуулар
1992-жылы негизделген HL Cryogenic Equipment Кытайдагы Chengdu Ыйык Cryogenic Equipment компаниясына таандык бренд болуп саналат. HL Cryogenic Equipment жогорку вакуумдук изоляцияланган криогендик түтүк тутумун жана ага тиешелүү колдоо жабдууларын долбоорлоого жана өндүрүүгө милдеттенет.
Көбүрөөк маалымат алуу үчүн расмий веб-сайтка кириңизwww.hlcryo.com, же электрондук почта дарегинеinfo@cdholy.com.
Билдирүү убактысы: 06-2021-жыл
