Молекулярдык нур эпитаксиясы же MBE - бул кристаллдык субстраттарда кристаллдардын жогорку сапаттагы жука пленкаларын өстүрүүнүн жаңы ыкмасы. Ультра жогорку вакуумдук шарттарда жылытуу меши бардык керектүү компоненттер менен жабдылган жана атомдук же молекулалык нурларды коллимациялоодон кийин пайда болгон тешиктер аркылуу буу жаратат, монокристаллдык субстраттын тиешелүү температурасына түздөн-түз инъекциялоо, молекулярдык нурларды башкаруу бир эле учурда субстрат сканерлөө, ал кристаллдык тегиздөө катмарларындагы молекулаларды же атомдорду субстраттын "өсүшүндө" жука пленканы түзө алат.

MBE жабдууларынын нормалдуу иштеши үчүн жогорку тазалыктагы, төмөнкү басымдагы жана өтө таза суюк азотту жабдуунун муздатуу камерасына үзгүлтүксүз жана туруктуу ташып туруу талап кылынат. Жалпысынан алганда, суюк азот менен камсыз кылуучу резервуардын чыгыш басымы 0,3МПа менен 0,8МПа ортосунда. -196℃ суюк азот түтүктөрдү ташуу учурунда оңой азотко бууланат. Газ-суюктук катышы болжол менен 1:700 болгон суюк азот түтүктө газдаштырылгандан кийин, ал суюк азоттун агымынын көп мейкиндигин ээлейт жана суюк азот түтүгүнүн аягындагы нормалдуу агымды азайтат. Мындан тышкары, суюк азотту сактоочу резервуарда тазаланбаган калдыктар болушу мүмкүн. Суюк азот проводунда нымдуу абанын болушу да муз шлактарынын пайда болушуна алып келет. Эгерде бул аралашмалар жабдууларга төгүлсө, ал жабдууларга күтүүсүз зыян келтирет.

Ошондуктан, сырткы сактоочу резервуардагы суюк азот MBE жабдыктарына чаңсыз цехте жогорку эффективдүүлүк, туруктуулук жана тазалык менен ташылат, ал эми төмөнкү басымда, азот жок, аралашмалар жок, 24 саат үзгүлтүксүз, мындай транспорттук башкаруу системасы квалификациялуу продукт.