Молекулярдык нур эпитаксиясы же MBE - бул кристалл субстраттарында жогорку сапаттагы жука кристалл пленкаларын өстүрүүнүн жаңы ыкмасы. Өтө жогорку вакуумдук шарттарда, жылытуучу меш ар кандай керектүү компоненттер менен жабдылган жана буу пайда кылган, атомдук же молекулярдык нур коллимациялангандан кийин пайда болгон тешиктер аркылуу монокристалл субстраттын тиешелүү температурасына түз сайылган, молекулярдык нур субстратка сканерленип, ошол эле учурда кристаллдык тегиздөө катмарларындагы молекулаларды же атомдорду субстратта жука пленка "өсүшүнө" алып келиши мүмкүн.

MBE жабдууларынын нормалдуу иштеши үчүн жогорку тазалыктагы, төмөнкү басымдагы жана өтө таза суюк азотту жабдуулардын муздатуу камерасына үзгүлтүксүз жана туруктуу ташып туруу талап кылынат. Жалпысынан алганда, суюк азот менен камсыз кылган резервуардын чыгуу басымы 0,3 МПа жана 0,8 МПа ортосунда болот. -196℃ температурадагы суюк азот түтүк аркылуу ташуу учурунда азотко оңой бууланат. Газ-суюктук катышы болжол менен 1:700 болгон суюк азот түтүктө газдаштырылгандан кийин, ал көп өлчөмдөгү суюк азот агымынын мейкиндигин ээлеп, суюк азот түтүгүнүн аягындагы нормалдуу агымды азайтат. Мындан тышкары, суюк азот сактоочу резервуарда тазалана элек таштандылар болушу мүмкүн. Суюк азот түтүгүндө нымдуу абанын болушу муз шлактарынын пайда болушуна да алып келет. Эгерде бул кошулмалар жабдууларга чыгарылса, бул жабдууларга күтүүсүз зыян келтирет.

Ошондуктан, сырткы сактоочу резервуардагы суюк азот чаңсыз цехтеги MBE жабдууларына жогорку натыйжалуулук, туруктуулук жана тазалык менен жеткирилет, ал эми төмөнкү басым, азотсуз, кошулмаларсыз, 24 саат үзгүлтүксүз, мындай ташуу башкаруу системасы квалификациялуу продукт болуп саналат.