Суюктук азот муздатуучу муздатуучу тутумдары жарым өткөргүч жана чип индустриясында кеңири колдонулат, анын ичинде процессин,
- Молекулярдык уй эпитасы (MBE) технологиясы
- COB топтомунан кийин чиптин тести
Тиешелүү буюмдар
Вакуумдук изоляцияланган түтүк сериясы
Вакуумдук изоляцияланган ийкемдүү шланг сериялары
Динамикалык вакуум насосу системасы
Вакуумдук изоляцияланган фаза бөлүүчү сериясы
Вакуумдук изоляцияланган клапан сериясы
Тутумду колдоо жабдыктары
Молекулярдык уй эпитасы
1950-жылдары Молекулярдык уста эпиталык эпиталык эпиталык технологиясы 1950-жылдары Вакууморациялык буулануу технологиясын колдонуп, жарым-жартылай жарчы кинолорун даярдоо үчүн иштелип чыккан. Ультра жогорку вакуумдук технологиясын иштеп чыгуу менен, технологияны колдонуу мөөнөтү семикоратор илиминин жаатына чейин узартылды.
MBE суюк азот муздатуу тутумунун талаптарын байкап, MBE технологиясы үчүн суюктук азык-түлүк тутумун ийгиликтүү өнүктүрүүнү жана көптөгөн ишканаларда колдонулган, университеттерде жана изилдөө институттарында колдонулган боштондук тутумун ийгиликтүү өнүктүрүү үчүн техникалык оюктук митрогендик тутумун ийгиликтүү өнүктүрүүнү жана Вакуумдук изоляцияланган тутумунун толук топтому .
Жарым өткөргүч жана чиптин тармагынын жалпы көйгөйлөрү,
- Терминал (MBE) шаймандарына суюк азотко басымы. Өлүмдүн ашыкча жүктөлүшүнө жол бербөө терминал (MBE) жабдуулары.
- Бир нече Cryogenic суюктук инлет жана розетка көзөмөлү
- Терминал жабдыктарын температурасынын температурасы
- Криогеникалык газдын чыгарылышынын акылга сыярлык суммасы
- (Автоматтык) негизги жана филиал линияларын которуу
- ВИПнын басымын тууралоо (азайтуу) жана туруктуулугу
- Мүмкүн болгон аралыкты жана муздун калдыктарын тазалоо
- Терминалдык суюктук жабдууларын толтуруу убактысы
- Куурдун алдын-ала
- VIP тутумундагы суюктук каршылык
- Системанын үзгүлтүксүз кызматы учурунда суюк азотун жоготуу
HLдин вакуумдук изоляцияланган түтүгү (VIP) ASME B31.3 баскычын басым жасоо кодунун стандарт катары курулган. Инженердик тажрыйба жана сапатты көзөмөлдөө мүмкүнчүлүгү кардардын өсүмдүктөрүнүн натыйжалуулугун жана экономикалык натыйжалуулугун камсыз кылат.
Чечимдер
HL CryoGenic жабдыктары жарым өткөргүч жана чип өнөр жайынын талаптарын жана шарттарына жооп берүү үчүн вакуумдук изоляцияланган түп-тамыры менен вакуумдук изоляцияланган түп-тамыры менен камсыз кылат:
1. Свалификацияны башкаруу тутуму: ASME B31.3 басым түтүгүнүн коду.
2.a Мунураак CRYOGENIC суюктук идиш-аяктары менен атайын фаза склеттору газ эмиссиясынын, суюктук азотун кайра иштетүү жана суюктук азоттун температурасынын талаптарын жана температуранын талаптарына жооп берет.
3. 3-Тынчсыздандыруунун дизайны ар дайым басымдын маанисинде ар дайым иштеп жаткан бул терминал шаймандарды камсыз кылат.
4. Газ-суюктук тоскоолдуку VI га түтүгүнүн аягында вертикалдуу ви түтүгүнө жайгаштырылган. Газ-суюктук баргыч VI түтүгүнүн аягынан баштап VI түтүктүн аягынан жылуулукту бөгөттөө үчүн газдын мөөрү принцибин колдонот жана тутумдун үзгүлтүксүз жана үзгүлтүксүз кызматы учурунда суюктук азотун жоготууну натыйжалуу азайтат.
Вакуумдук изоляцияланган клапан (VIV) сейрек кездешет: вакуумдук изоляцияланган клапан (пневматикалык). Вакуумдун изоляцияланган клапаны, вакуумдук изоляцияланган VAIB ж.б. талап кылынат. VIV өндүрүүчүнүн VIP префретициясы менен интеграцияланган, ал жердеги изоляцияланган дарылоосуз. ВИВтин мөөрдү бирдиги оңой эле алмаштырса болот. (HL кардарлар тарабынан дайындалган Cryogenic клапан брендинин, андан соң вакуумдук изоляцияланган клапандарын HL тарабынан кабыл алат. Айрым бренддер жана моделдер вацифтардын моделдери вакуумдук изоляцияланган клапандарга айланып кетиши мүмкүн.)
6. Эгерде ички түтүкчөнүн бети тазалыгына кошумча талаптар болсо, анда кошумча талаптар бар болсо. Кардарлар дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдү VIP ички түтүктөрү катары VIP ички түтүктөрү катары тандап алууну сунушташат деп болжолдонууда.
7.Vacuum аттелазасасы чыпкасы: мүмкүн болгон аралыктарды жана муздун калдыктарын тазалоо.
8. Бир нече күн же андан көп жабуу же тейлөөчү, бырыш суюктук суюктук суюктуктан кийин VI түтүктүн жана терминал жабдыктарын түздөн-түз киргенден кийин, суюктук суюктук суюктук жана терминалдык суюктук жана терминалдык жабдууларды белгилөө үчүн өтө зарыл. Дизайнда алдын-ала жаралуучу функция каралышы керек. Терминал жабдууларын жана VI vi үчүн клапандыктар сыяктуу VI пиптингдеги колдоо жабдууларын жакшыраак коргойт.
9. Динамикалык жана статикалык вакуумдук изоляцияланган (ийкемдүү) пипинг тутумуна.
10. ). VI ийкемдүү шлангынын узундугу колдонуучунун талаптары боюнча ыңгайлаштырса болот.
Туташуу түрү: Вакуум байонет байланышы (VBC) Түрү жана ширетүүчү туташуу тандалса болот. VBC түрү сайттын изоляцияланган дарылоосуна муктаж эмес.
