Суюк азотту муздатуу системалары жарым өткөргүчтөр жана чип өнөр жайында кеңири колдонулат, анын ичинде,
- Молекулярдык нур эпитаксиясынын (MBE) технологиясы
- COB пакетинен кийин чиптин сыноосу
Окшош өнүмдөр
Вакуумдук изоляцияланган түтүк сериялары
Вакуумдук изоляцияланган ийкемдүү шланг сериясы
Динамикалык вакуумдук насос системасы
Вакуумдук изоляцияланган фазалык бөлгүч сериясы
Вакуумдук изоляцияланган клапан сериясы
Түтүк системасын колдоочу жабдуулар
МОЛЕКУЛАЛЫК НУР ЭПИТАКСИ
Молекулярдык нур эпитаксиясы (MBE) технологиясы 1950-жылдары вакуумдук буулантуу технологиясын колдонуу менен жарым өткөргүч жука пленкалуу материалдарды даярдоо үчүн иштелип чыккан. Өтө жогорку вакуумдук технологиянын өнүгүшү менен бул технологияны колдонуу жарым өткөргүч илим тармагына да кеңейтилген.
HL компаниясы MBE суюк азот муздатуу системасына болгон суроо-талапты байкап, MBE технологиясы үчүн атайын MBE суюк азот муздатуу системасын жана көптөгөн ишканаларда, университеттерде жана изилдөө институттарында колдонулган вакуумдук изоляцияланган түтүк системасынын толук комплектин ийгиликтүү иштеп чыгуу үчүн техникалык негизди уюштурган.
Жарым өткөргүчтөр жана чип өнөр жайынын жалпы көйгөйлөрүнө төмөнкүлөр кирет:
- Терминалдык (MBE) жабдууларына суюк азоттун басымы. Терминалдык (MBE) жабдууларына зыян келтирүүчү басымдын ашыкча жүктөлүшүнүн алдын алуу.
- Бир нече криогендик суюктуктун кириш жана чыгышын башкаруу элементтери
- Терминалдык жабдууларга суюк азоттун температурасы
- Криогендик газдын эмиссиясынын акылга сыярлык көлөмү
- Негизги жана тармактык линияларды (автоматтык түрдө) которуу
- VIP басымын жөнгө салуу (төмөндөтүүчү) жана туруктуулугу
- Бактан мүмкүн болгон аралашмаларды жана муз калдыктарын тазалоо
- Терминалдык суюктук жабдууларын толтуруу убактысы
- Түтүктөрдү алдын ала муздатуу
- VIP системасындагы суюктукка туруктуулук
- Системанын үзгүлтүксүз иштеши учурунда суюк азоттун жоголушун көзөмөлдөө
HL компаниясынын вакуумдук изоляцияланган түтүгү (VIP) ASME B31.3 басым түтүк кодексине ылайык стандарт катары курулган. Кардардын заводунун натыйжалуулугун жана үнөмдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн инженердик тажрыйба жана сапатты көзөмөлдөө мүмкүнчүлүгү.
ЧЕЧИМДЕР
HL Cryogenic Equipment жарым өткөргүчтөр жана чиптер өнөр жайынын талаптарына жана шарттарына жооп берүү үчүн кардарларга вакуумдук изоляцияланган түтүк системасын сунуштайт:
1. Сапатты башкаруу системасы: ASME B31.3 Басым түтүктөрү боюнча код.
2. Автоматтык башкаруу функциясы бар бир нече криогендик суюктуктун кириш жана чыгышы бар атайын фазалык сепаратор газ эмиссиясынын, кайра иштетилген суюк азоттун жана суюк азоттун температурасынын талаптарына жооп берет.
3. Тыюучу түтүктөрдүн жетиштүү жана өз убагында долбоорлонушу терминалдык жабдуулардын ар дайым долбоорлонгон басым маанисинин чегинде иштешин камсыздайт.
4. Газ-суюктук тосмосу VI түтүгүнүн учундагы вертикалдуу VI түтүгүнө жайгаштырылат. Газ-суюктук тосмосу VI түтүгүнүн учунан VI түтүгүнө жылуулукту тосуу жана системанын үзгүлтүксүз жана үзгүлтүктүү иштеши учурунда суюк азоттун жоголушун натыйжалуу азайтуу үчүн газ пломбалоо принцибин колдонот.
5.VI Вакуумдук изоляцияланган клапан (VIV) сериясы менен башкарылуучу түтүктөр: Вакуумдук изоляцияланган (пневматикалык) өчүргүч клапан, вакуумдук изоляцияланган текшерүү клапаны, вакуумдук изоляцияланган жөнгө салуучу клапан ж.б. VIVди зарылчылыкка жараша башкаруу үчүн ар кандай типтеги VIV модулдук түрдө айкалыштырылышы мүмкүн. VIV өндүрүүчүдө VIP алдын ала даярдоо менен интеграцияланган, ал эми жер-жерлерде изоляцияланган тазалоо жүргүзүлбөйт. VIVдин пломба блогун оңой алмаштырууга болот. (HL кардарлар тарабынан белгиленген криогендик клапан брендин кабыл алат, андан кийин HL тарабынан вакуумдук изоляцияланган клапандарды жасайт. Айрым бренддер жана клапан моделдери вакуумдук изоляцияланган клапандарга айландырылбашы мүмкүн.)
6. Эгерде ички түтүктүн бетинин тазалыгына кошумча талаптар коюлса, тазалык. Кардарлар дат баспас болоттон жасалган төгүлүүнү андан ары азайтуу үчүн VIP ички түтүк катары BA же EP дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдү тандап алуу сунушталат.
7. Вакуумдук изоляцияланган чыпка: Бактагы мүмкүн болгон аралашмаларды жана муз калдыктарын тазалаңыз.
8. Бир нече күн же андан көп убакытка өчүрүлгөндөн же техникалык тейлөөдөн кийин, криогендик суюктук түздөн-түз VI түтүк жана терминалдык жабдууларына киргенден кийин муз шлактарынын пайда болушуна жол бербөө үчүн, VI түтүк жана терминалдык жабдууларды криогендик суюктук киргизүүдөн мурун алдын ала муздатуу абдан зарыл. Алдын ала муздатуу функциясын долбоорлоодо эске алуу керек. Ал терминалдык жабдууларды жана клапандар сыяктуу VI түтүк колдоочу жабдууларын жакшыраак коргоону камсыз кылат.
9. Динамикалык жана статикалык вакуумдук изоляцияланган (ийкемдүү) түтүк системасына ылайыктуу.
10. Динамикалык вакуумдук изоляцияланган (ийкемдүү) түтүк системасы: VI ийкемдүү шлангдардан жана/же VI түтүктөн, секирүүчү шлангдардан, вакуумдук изоляцияланган клапан системасынан, фазалык бөлгүчтөрдөн жана динамикалык вакуумдук насос системасынан (вакуумдук насосторду, электромагниттик клапандарды жана вакуумдук өлчөгүчтөрдү ж.б. кошо алганда) турат. Бир VI ийкемдүү шлангдын узундугу колдонуучунун талаптарына ылайыкташтырылышы мүмкүн.
11. Ар кандай туташтыруу түрлөрү: Вакуумдук штык туташтыруу (VBC) түрүн жана ширетилген туташтырууну тандай аласыз. VBC түрүн жергиликтүү изоляциялоону талап кылбайт.
