Суюк азот муздатуу системалары жарым өткөргүч жана чип өнөр жайында кеңири колдонулат, анын ичинде,
- Молекулярдык нур эпитаксисинин технологиясы (MBE)
- COB пакетинен кийин чиптин сыналышы
Related Products
Вакуумдук изоляцияланган түтүктөрдүн сериясы
Вакуумдук изоляцияланган ийкемдүү шланг сериясы
Динамикалык вакуумдук насос системасы
Вакуумдук изоляцияланган фазалык сепаратор сериясы
Вакуумдук изоляцияланган клапан сериясы
Түтүк системасын колдоо жабдуулары
МОЛЕКУЛАРДЫК НУКУ ЭПИТАКСИЯ
Molecular Beam Epitaxy (MBE) технологиясы 1950-жылдары вакуумдук буулантуу технологиясын колдонуу менен жарым өткөргүч жука пленкалуу материалдарды даярдоо үчүн иштелип чыккан. Ультра жогорку вакуумдук технологиянын өнүгүшү менен технологияны колдонуу жарым өткөргүч илим тармагына жайылды.
HL көптөгөн ишканаларда, университеттерде жана илимий-изилдөө институттарында колдонулган MBE суюк азот муздатуу тутумунун суроо-талабын, MBE технологиясы үчүн атайын MBE суюк азот муздатуу системасын жана вакуумдук изоляцияланган түтүк тутумунун толук комплексин ийгиликтүү иштеп чыгуу үчүн уюштурулган техникалык магистралдын талабын байкады. .
Жарым өткөргүч жана чип өнөр жайынын жалпы көйгөйлөрүнө төмөнкүлөр кирет:
- Суюк азоттун терминалдык (MBE) жабдууларына басымы. Терминалдын (MBE) жабдыктарын бузуудан басымдын ашыкча жүктөлүшүнө жол бербөө.
- Бир нече криогендик суюктуктун кириш жана чыгышын башкаруу
- Терминалдык жабдууларга суюк азоттун температурасы
- Криогендик газ чыгаруулардын акылга сыярлык көлөмү
- (Автоматтык) магистралдык жана тармактык линияларды алмаштыруу
- VIP басымын жөндөө (азайтуу) жана туруктуулугу
- Резервуардагы мүмкүн болгон кирлерди жана муз калдыктарын тазалоо
- Суюктуктун терминалын толтуруу убактысы
- Түтүктөрдү алдын ала муздатуу
- VIP системасындагы суюктуктун каршылыгы
- Системаны үзгүлтүксүз тейлөө учурунда суюк азоттун жоголушун көзөмөлдөө
HL'дин Вакуумдук изоляцияланган түтүгү (VIP) стандарт катары ASME B31.3 басым түтүктөрүнүн кодуна ылайык курулган. Инженердик тажрыйба жана сапатты көзөмөлдөө жөндөмдүүлүгү кардардын заводунун натыйжалуулугун жана экономикалык натыйжалуулугун камсыз кылуу.
ЧЕЧИМДЕР
HL Cryogenic Equipment кардарларга жарым өткөргүч жана чип тармагынын талаптарына жана шарттарына жооп берүү үчүн Вакуумдук изоляцияланган түтүк тутумун камсыз кылат:
1.Quality башкаруу системасы: ASME B31.3 басым түтүк кодекси.
2.A Special Phase Separator Multiple Cryogenic Liquid Inlet жана Outlet менен автоматтык башкаруу функциясы менен газ эмиссиясынын, кайра иштетилген суюк азоттун жана суюк азоттун температурасынын талабына жооп берет.
3.Адекваттуу жана өз убагында чыгаруучу дизайн терминалдык жабдуулар ар дайым иштелип чыккан басымдын чегинде иштешин камсыз кылат.
4.Газ-суюктук тосмо VI түтүктүн аягында вертикалдуу VI түтүккө жайгаштырылат. Газ-суюктук тосмосу VI түтүктүн учунан VI түтүкчөсүнө жылуулукту бөгөттөө жана системанын үзгүлтүксүз жана үзгүлтүктүү тейлөө учурунда суюк азоттун жоготууларын эффективдүү азайтуу үчүн газ пломбасынын принцибинде колдонот.
5.VI түтүктөрү Вакуумдук изоляцияланган клапан (VIV) сериясы менен башкарылат: анын ичинде вакуумдук изоляцияланган (пневматикалык) өчүрүүчү клапан, вакуумдук изоляцияланган текшерүү клапан, вакуумдук изоляцияланган жөнгө салуучу клапан ж.б. талап кылынат. VIV өндүрүүчүдө VIP даярдоо менен интеграцияланган, жеринде изоляцияланган дарылоосуз. VIV мөөр бирдигин оңой алмаштырууга болот. (HL кардарлар тарабынан белгиленген криогендик клапан брендин кабыл алат, андан кийин HL тарабынан вакуумдук изоляцияланган клапандарды жасайт. Кээ бир бренддер жана клапан моделдерин вакуумдук изоляцияланган клапандар жасоого болбойт.)
6.Cleanliness, ички түтүк бетинин тазалыгы үчүн кошумча талаптар бар болсо. Дат баспас болоттон жасалган төгүүнү андан ары азайтуу үчүн кардарларга BA же EP дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдү VIP ички түтүктөр катары тандоо сунушталат.
7.Vacuum изоляцияланган чыпка: резервуардан мүмкүн болгон аралашмаларды жана муз калдыктарын тазалаңыз.
8.After бир нече күн же андан көп өчүрүү же техникалык тейлөө, криогендик суюктук VI түтүккө жана терминалдык жабдууларга түздөн-түз киргенден кийин муз шлактарын болтурбоо үчүн, криогендик суюктук киргенге чейин VI түтүктөрүн жана терминалдык жабдууларды алдын ала муздатуу абдан зарыл. Дизайнда алдын ала муздатуу функциясын эске алуу керек. Бул терминалдык жабдууларды жана клапандар сыяктуу VI Piping колдоо жабдууларын жакшыраак коргоону камсыз кылат.
9.Suit динамикалык жана статикалык Vacuum изоляцияланган (ийкемдүү) түтүк системасы үчүн.
10.Динамикалык вакуумдук изоляцияланган (ийкемдүү) түтүк системасы: VI ийкемдүү шлангдардан жана/же VI түтүктөн, секирүүчү шлангтардан, вакуумдук изоляцияланган клапан тутумунан, фазалык сепараторлордон жана динамикалык вакуумдук насостун тутумунан (анын ичинде вакуумдук насосторду, электромагниттик клапандарды жана вакуумдук гаug ж.б.) турат. ). Жалгыз VI ийкемдүү шлангынын узундугу колдонуучунун талаптарына ылайыкташтырылышы мүмкүн.
11.Various Connection түрлөрү: Vacuum Bayonet Connection (VBC) түрү жана Welded Connection тандалышы мүмкүн. VBC түрү жеринде изоляцияланган дарылоону талап кылбайт.
