Өткөн жылдары аяктаган Chip MBE долбоору

Technology

Молекулярдык нур эпитаксиясы же МБЭ - бул кристаллдын жогорку сапаттагы жука пленкаларын кристаллдык субстраттарга өстүрүүнүн жаңы ыкмасы. Ультра жогорку вакуум шартында, жылытуучу меш ар кандай керектүү компоненттер менен жабдылган жана атомду же молекулярдык нурду коллизациялоодон кийин пайда болгон тешиктер аркылуу буу чыгарат, бир кристаллдык субстраттын тиешелүү температурасына түздөн-түз куюп, молекулярдык нурду көзөмөлдөйт. ошол эле учурда субстратты сканерлегенде, кристалл тегиздөө катмарларындагы молекулаларды же атомдорду "өсүү" субстратында жука пленканы пайда кылышы мүмкүн.

MBE жабдууларынын кадимкидей иштеши үчүн, жогорку тазалык, төмөн басым жана өтө таза суюк азотту жабдуунун муздатуучу бөлмөсүнө туруктуу жана туруктуу жеткирүү талап кылынат. Жалпысынан, суюк азотту камсыз кылган резервуардын чыгышы 0,3MPa жана 0,8MPa. Суюк азот -196 ℃ болсо, куурларды ташуу учурунда азоттун ичине оңой бууланат. Түтүктө газ-суюктуктун катышы болжол менен 1: 700 болгон суюк азот газдаштырылгандан кийин, ал суюк азоттун агымынын мейкиндигин чоң көлөмдө ээлейт жана суюк азот түтүкчөсүнүн аягындагы нормалдуу агымды азайтат. Мындан тышкары, суюк азотту сактоочу идиште тазаланбай калган таштандылар болушу мүмкүн. Суюк азот түтүгүндө нымдуу абанын болушу муз шлактарынын пайда болушуна да алып келет. Эгерде бул аралашмалар шайманга төгүлсө, анда ал жабдыкка күтүүсүз зыян келтирет.

Демек, сырткы сактоочу жайдагы суюк азот чаң жок цехте MBE жабдуулары менен жогорку эффективдүүлүк, туруктуулук жана таза, ошондой эле төмөнкү басым, азотсуз, аралашмаларсыз, 24 саат үзгүлтүксүз ташылат, мындай транспорттук башкаруу системасы квалификациялуу продукт.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

MBE жабдууларын дал келтирүү

2005-жылдан бери HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) бул тутумду оптималдаштырат жана өркүндөтүп, MBE жабдууларын чыгарган эл аралык компаниялар менен кызматташат. MBE жабдууларын өндүрүүчүлөр, анын ичинде DCA, REBER, биздин компания менен кызматташтык мамиледе. MBE жабдууларын өндүрүүчүлөр, анын ичинде DCA жана REBER көптөгөн долбоорлордо кызматташышты.

Riber SA молекулярдык нур эпитаксиясынын (MBE) продуктуларын жана жарым-жартылай өткөргүчтөрдү изилдөө жана өнөр жай колдонмолору үчүн байланышкан кызматтардын алдыңкы дүйнөлүк камсыздоочусу. Riber MBE шайманы субстратка өтө жука материалдык катмарларды жайгаштыра алат, көзөмөлү өтө жогору. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) компаниясынын вакуумдук жабдуулары Riber SA менен жабдылган Эң чоң жабдуу Riber 6000, ал эми эң кичүүсү Compact 21. Ал абалы жакшы жана кардарлар тарабынан таанылган.

DCA дүйнөдөгү эң ири оксид МББ болуп саналат. 1993-жылдан баштап кычкылдануу ыкмаларын, антиоксидант субстратты жылытуу жана антиоксидант булактарын системалуу иштеп чыгуу жүргүзүлүп келе жатат. Ушул себептен көптөгөн алдыңкы лабораториялар DCA кычкылы технологиясын тандап алышкан. Композиттик жарым өткөргүч MBE системалары дүйнө жүзү боюнча колдонулат. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) VJ суюк азот жүгүртүү тутуму жана DCAнын көптөгөн моделдеринин MBE жабдуулары P600, R450, SGC800 модели сыяктуу көптөгөн долбоорлордо дал келген тажрыйбага ээ.

tcm (2)

Performance Table

Шанхай техникалык физика институту, Кытай Илимдер Академиясы
Кытайдын Электрондук технологиялар корпорациясынын 11-институту
Кытай илимдер академиясынын жарым өткөргүчтөр институту
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Билдирүү убактысы: 26-2021-май